302 x 302 mm移動式ステッピングモーターXYステージ

H112ステージは、半導体ウエハー、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など幅広い分野のスキャンに最適です。H112は、12インチ（300mm）ウェーハを容易に収容することができ、多くのロボットアームウエハーローダーに対応することができます。また、H112は250 mm × 250 mmの透過光エリアを持つ透過光用途に使用することができます。