300 mmウェーハ用として開発された新型WP120Bは、姿勢角誤差（ロール・ピッチ誤差）を極限まで抑え、安定したフォーカスと高い測定精度を提供します。

クィーンズゲイトは、ピエゾナノポジショニングステージの最新モデル、WP120B（Z軸・ティップ／ティルトステージ）を発表しました。本製品は、300㎜ウェーハ用ピエゾステージの姿勢角誤差の改善を求めるお客様のご要望に応えるため開発しました。

本製品の機械的特徴として、3つのピエゾアクチュエータを並列に配置した内部構造と独自のフレクシャーガイド機構、ステージの動きを随時測定している静電容量センサーの搭載、クローズドループ制御でステージの高速、且つ正確な動きを実現する設計をしています。これにより120ミクロンの全動作範囲に渡って、ステージの動作速度を損なうことなく、姿勢角誤差を20マイクロラジアンから2マイクロラジアンまで低減することに成功しました。

このように姿勢角を安定させることで、広い観察範囲でも安定したフォーカスを保つことができ、測定精度の信頼性が向上するため、300 mmウェーハの検査に最適です。また、Prior Scientific社のH112電動XYステージ（動作範囲300×300㎜の高耐荷重ステージ）用取り付けアダプタもご用意しており、300 mmのXY動作範囲を持つシステム構築も可能です。

WP120Bは、Z軸の速度と精度両立が必要となる高生産性が要求されるご用途に最適なピエゾステージです。専用のデジタルクローズドループコントローラを使用することで、8 kg荷重時でも、1 ミクロンステップの整定時間はわずか14 ミリ秒です。

主な用途：

• ウェーハ検査および欠陥検出
• チップ検証
• 表面構造解析
• 干渉法および計測学

詳細については nanopositioning.com をご覧ください。