154 x 154 mm移動式ステッピングモーターXYステージ

H105は、特に大きなサンプルを扱うアプリケーションに適しています。例えば、半導体ウエハー、フォトマスク、プリント基板など、幅広い分野のスキャンを行うことができます。H105は、6インチウエハーを容易に収容することができます。H105ステージはフルマップ化され、測定精度が向上しています。