NanoScan NPC-D-6000シリーズは、Queensgateのステージ機構やアクチュエーターをピコメートルの位置決め分解能で制御するために特別に設計されたマルチチャンネルナノポジショニングコントローラーです。
NPC-D-6000シリーズは、最新のデジタル信号処理技術により、ピエゾドライブアンプ、静電容量式位置検出回路、サーボ制御機能を組み合わせています。
コントローラーは以下の特徴を備えています。
高速な位置更新レートは、ステージの高速移動が必要なダイナミックアプリケーションでの高速位置決め精度に貢献します。
コントローラーは、プラグアンドプレイのナノメカニズムに対応しており、電子部品を交換しても性能はほとんど変わりません。
一般的な仕様：
•オープンループ動作モードのクローズドループコントローラー。精密なクローズドループ動作を実現する静電容量センサー測定回路。
• 24 bitのデータ分解能を持つデジタル信号処理。20 μsの高速な制御ループの更新。
•4次線形化アルゴリズムにより、高い位置精度を実現。
•プラグアンドプレイのNanoMechanismをサポート。キャリブレーションとダイナミック設定はステージのEEPROMに保持されているため、コントローラーを交換しても性能への影響はなし。
•2つのノッチフィルターにより、用途に応じたチューニングを行い、ノイズの低減やステージリンギングの防止を実現。
•低ノイズ設計により、ステージの位置ノイズを数十 pmにまで抑制。正確な画像化と焦点調整のために、動きの再現性、精密さ、正確さを備えた安定したシステムを提供。
• 20 bit分解能のダイナミックハイパワー出力ナノメカニズムドライブ。
•加減速の最適化により、オーバーシュート、整定時間を低減し、高速位置決めアプリケーションに貢献。
•ソフトスタート/ストップ技術により、搭載物を保護し、ピエゾの寿命を延長。
