154 x 154 mm移動式フラットトップステッパーモーターステージ

ほとんどの正立顕微鏡に適合するH105-Fは、精密に設計された幅広いプロスキャンステージシリーズの一つです。移動範囲が広く、半導体ウエハー、フォトマスク、プリント基板などの大型サンプルにも対応し、材料科学分野での応用に最適です。サンプルホルダーを交換することで、様々な用途に使用できるスライドです。H105N2Fは、高分解能と優れた再現性により、ハイエンドな材料科学のアプリケーションに理想的です。

再現性:

  •  ± 0.7 μmの再現性、後日の検査・解析のためのポイント保存機能
    付き
  •  1 μmまでの分解能が可能
  • IST、ステージマッピングシステムを搭載
  •  アンチバックラッシュ機構(リミット調整可能
    スイッチ付き)
  • リニアエンコーダを搭載し、精度をさらに向上
    汎用性:
  •  ProScan® III コントロールシステムで制御可能