302 x 302 mm 正立顕微鏡用電動XYステージH112

H112ステージは、大型のサンプル観察に最適な電動XYステージです。半導体ウェーハ、フォトマスク、プリント基板などの観察にお使いいただけます。動作範囲がX軸、Y軸、どちらも302mmなので12インチ(300mm)ウェーハにも対応可能。サンプルホルダもH112専用品を各種取り揃えております。

 

  • 動作範囲:302 mm x 302 mm
  • サブミクロンの繰り返し精度
  • 耐荷重25kg
  • ガラスプレート、アルミプレート、ウェーハチャック各種のサンプルホルダ
  • エンコーダ搭載機種もございます