255 x 215 mm移動式ステッピングモーターXYステージ

H116ステージは、ほとんどの大型顕微鏡に対応し、8インチ（200mm）ウェーハや各種大型サンプルを容易に搭載できるため、半導体ウエハー、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、プリント基板など、幅広い分野のスキャンに最適です。