MTPオープンループアクチュエーター

MTPは内部でプリロードされたピエゾ式オープンループ移動装置で、非常に高い分解能で105 μmまでの移動量を持たせることが可能です。

このアクチュエーターは、1000 N(MTP-15)のブロッキング力を発生させることができる非常に剛性の高い設計になっています。この特性により、Z軸方向に最大10 kg(MTP-15)までの過酷な荷重を駆動することが可能です。MTPアクチュエーターを公称値以上の範囲で駆動するには、単に0 V~120 V の HVアンプが必要なだけです。ただし、必要に応じて、-30V~150VDC対応のHVアンプを使用することで、さらに範囲を広げることが可能です。

小型でクローズドループの性能が必要な場合、MTPはQueensgateの位置測定システムと組み合わせて使用することができます。これにより、サブナノメートルの精度で静電容量方式の位置検出が可能となり、アクチュエーターから独立したセンサー配置のメリットも得られます。これにより、センサープレートをホストフィクスチャーの都合の良い場所に自由に取り付けることができるようになりました。

  • 15、30、45、75、105μmの移動範囲オプション、サブナノメータ分解能
  • 低電圧
  • コンパクトなサイズ
  • 高剛性
  • 内部プリロード – 高い引張力
  • VACとUVACのオプション
  • 豊富なアクセサリー
  • 保護用メタルケース
  • 最大荷重10 kg
  • 顕微鏡
  • ビームステアリング
  • クィーンズゲートNanoSensorとの併用で、カスタムクローズドループシステム構成が可能