NPC-D-5200デジタルコントローラー

精密さ、正確さ、スピードで、最高のナノポジショニングを実現します。

最高のダイナミック性能を必要とする難しいアプリケーションを幅広くカバーするために設計された、スタンドアロン1軸クローズドループピエゾアクチュエーターコントローラーです。NPC-D-5200は、妥協することなく、精度、正確さ、スピードを実現しています。

  • クローズドループ動作の精密静電容量センサー測定回路
  • 更新レート 8.3 μs (120 kHz)
  • 低電子ノイズを実現。低ノイズ設計により、ステージの位置ノイズを数十 pmにまで抑制
  • 高電力定格、-30~+150V駆動、連続電流160 mAを標準装備。