NPS2100-20/NPS2101コントローラー

NPS2101およびNPS2100-20は、NanoSensor、高電圧アンプ、制御電子回路を1チャンネルにまとめたスタンドアローンモジュールで、±15V、130V、-30Vの外部DC電源で駆動されます。これはQueensgateのピエゾアクチュエーター(MTP-15N)およびセンサー(NXB-3-Al)を搭載したYミラーステアリング機構のクローズドループ位置制御を行うように設計されています。制御電子回路により、クローズドループ応答を最適化することができ、オープンループ動作と比較して安定性と直線性が大幅に改善されます。NPS-2100-20は、-20V入力を内蔵しています。NPS-2101は正負の電圧入力がありますが、NanoSensorスクリーンドライバは無効になります。

  • サブナノメーターレベルの位置分解能
  • 線形エラーを0.02%まで低減
  • 測定帯域幅の調整が可能(50 Hz、500 Hz、5 kHz)
  • ユーザーによるアンプのゲイン調整が可能(測定レンジをフルに使用しないアプリケーション向け)