NS-2000 センサーコントローラー

NS2000は、NXおよびNCNanoSensorシリーズを駆動するための1チャンネルのスタンドアローン電子モジュールです。平行平板コンデンサーの容量変化を測定することで動作し、NanoSensorのギャップに比例したアナログ電圧を出力します。センサーのギャップが公称NanoSensorギャップの50%から150%に変化すると、電圧出力は-5Vから+5Vの間で直線的に変化します。このスケーリングはユーザーが設定可能です。コンパクトなサイズ、スタンドアロン動作、高分解能により、ナノポジショニングシステムを必要とする既存システムのアップグレードに最適です。

  • サブナノメーターレベルの位置分解能
  • ゼロヒステリシス
  • 測定帯域幅の調整が可能(50 Hz、500 Hz、5 kHz)
  • ユーザーによるアンプのゲイン調整が可能(測定レンジをフルに使用しないアプリケーション向け)
  • ロング(’-L’)またはショート(’-S’)の選択可能な測定範囲(2 pFまたは10 pFの静電容量)。
  • コンパクトなスタンドアローンモジュール