プライアー・サイエンティフィックの電動シャトルステージは、ニコンまたはオリンパスのウェーハハンドリングシステムを使用して、ウエハー検査に使用するように設計されています。このステージは、オペレーターのミスや疲労を大幅に軽減し、ウエハーの検査速度を向上させることができます。
H116SPNは、ウエハーのロードとアンロードを自動で行います。動作時には、シャトルシステムが自動的に正しいロードポジションに移動し、ローダースイッチを作動させ、ローダーにウエハーチャックがウエハーを受け取る準備ができていることを知らせます。シャトルに移乗後、シャトルを格納し、点検が可能です。ジョイスティックによる手動検査と、あらかじめプログラムされたパターンによる全自動検査が可能なステージです。
H116 SPNは、広範囲の移動範囲と優れた繰り返し精度および分解能を持ち、プライアー・サイエンティフィックのProScan® IIIシステムと併用することにより、精度、正確さ、最小限のエラー、そして最終的にははるかに効果的なウエハー検査プロセスを保証します。
