Z軸電動フォーカシングマウント

プライアーXYステージに対応可能な電動式リニア軸です。

Z軸自動ステージのFBシリーズは、フレキシブルな自動化単軸として設計されており、FB203による基本的な組み込みや、FB204やFB205のオフセットベース(透過照明用にはFB206)を持つXYステージに設置の簡単なスタンドを提供します。FBシリーズは、ほとんどのプライアー社製コントローラーから制御でき、プライヤーの標準的なH122フォーカスモーターと同じソフトウェアコマンドに応答します。

FB204、FB205、およびFB206にはスタンドが付属しており、光学テーブルにボルトで固定できるようになっており、オプションの0.1μmリニアエンコーダー付きで供給することが可能です。FBシリーズはすべて、1 mmボールネジとステッピングモーターの駆動方式を採用しています。

 

FB203 FB204/FB205/FB206 FB204E/FB205E/FB206E
 移動範囲 38 mmの移動範囲 38 mmの移動範囲 38 mmの移動範囲
分解能 20ナノメートル 20ナノメートル 20ナノメートル
方向再現性 ±0.7 μmの再現性 ±0.7 μmの再現性 ±0.7 μmの再現性
速度範囲 1 – 14 mm/s 1 – 14 mm/s 1 – 14 mm/s
最大荷重 最大荷重14 kg 最大荷重14 kg 最大荷重14 kg
エンコーダ ノー ノー 0.1 µmリニアエンコーダ
  • 38 mmの移動範囲
  • 20 nmの分解能
  • ±0.7 μmの再現性
  • 最大荷重14 kg。
  • プライアー・サイエンティフィック社製正立型ステージに対応
  • すべてのプライアー・サイエンティフィック社製コントローラーがサポート