プライアーXYステージに対応可能な電動式リニア軸です。
Z軸自動ステージのFBシリーズは、フレキシブルな自動化単軸として設計されており、FB203による基本的な組み込みや、FB204やFB205のオフセットベース(透過照明用にはFB206)を持つXYステージに設置の簡単なスタンドを提供します。FBシリーズは、ほとんどのプライアー社製コントローラーから制御でき、プライヤーの標準的なH122フォーカスモーターと同じソフトウェアコマンドに応答します。
FB204、FB205、およびFB206にはスタンドが付属しており、光学テーブルにボルトで固定できるようになっており、オプションの0.1μmリニアエンコーダー付きで供給することが可能です。FBシリーズはすべて、1 mmボールネジとステッピングモーターの駆動方式を採用しています。
FB203 | FB204/FB205/FB206 | FB204E/FB205E/FB206E | |
移動範囲 | 38 mmの移動範囲 | 38 mmの移動範囲 | 38 mmの移動範囲 |
分解能 | 20ナノメートル | 20ナノメートル | 20ナノメートル |
方向再現性 | ±0.7 μmの再現性 | ±0.7 μmの再現性 | ±0.7 μmの再現性 |
速度範囲 | 1 – 14 mm/s | 1 – 14 mm/s | 1 – 14 mm/s |
最大荷重 | 最大荷重14 kg | 最大荷重14 kg | 最大荷重14 kg |
エンコーダ | ノー | ノー | 0.1 µmリニアエンコーダ |