WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステー ジです。300㎜ウェーハ観察を想定し、耐荷重は8㎏、重量のあるウェーハチャックをのせるこ ともできます。
性能面では、クイーンズゲイトコントローラの緻密な制御アルゴリズムと静電容量センサー搭 載から、ナノレベルの誤差を検知・コントローラーにフィードバック、超高精度を実現します。 独自のフレクシャーガイド機構により、120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安 定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。
