ナノポジショニングステージ

クローズドループピエゾアクチュエートステージ。標準的なステージの材質はデータシートに記載されているとおりですが、スーパーインバー、ステンレス鋼、チタン、アルミニウムなどの代替材質も用意されています。真空、放射線、高温対応などのオプションがあります。ご要望に応じて、カスタムデザインも承ります。

Queensgateのナノポジショニングステージは、リニアまたは傾斜/回転フォーマットで、単軸と多軸の両方の構成があります。高性能ピエゾ駆動と評価の高いQueensgate静電容量位置フィードバックを組み合わせて、高性能なクローズドループシステムを提供します。クローズドループデジタルコントローラーとの組み合わせにより、完全なプラグアンドプレイ互換性を実現します。

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