ナノスキャンOP400 ナノポジショニングピエゾ対物レンズスキャナーは、あらゆる対物レンズポジショナの中で最速のステップおよび整定時間を提供します。また、静電容量式フィードバックセンサーを搭載し、市場トップレベルの位置決め精度と分解能を実現しています。ほとんどの顕微鏡と対物レンズに対応し、対物レンズのサイズ、重さ、性能のニーズに応じて最適な設定を行うことができます。ユーザーはアプリケーションに応じて最適な設定を選択するだけです。
対物ピエゾ NanoScan OP400
NanoScan OP400の主な特長
- クローズドループ移動範囲400 μm（オープンループ移動範囲480 μm）
- サブナノメートルの位置決め分解能と繰り返し精度を実現する静電容量式位置決めセンサー
- ステンレススチール製で、機械的剛性が高く（高速化）、温度安定性が高い（低ドリフト）。
- ステージはフレクシャーガイド方式です。摩擦のないフレクシャーは、高い剛性を持ち、軸逸脱運動を最小限に抑えるよう設計されており、高い再現性とサイクルタイムの短縮を実現します。
- 正立および倒立での使用に適しています。
- ステージキャリブレーションを内蔵したコネクターは、プラグアンドプレイで電子機器の交換が可能であり、システムのダウンタイムを最小限に抑えます。
- 光学分割による3D映像の作成
- タイムラプス撮影用オートフォーカスシステム
- ハイコンテントスクリーニング
- 表面解析
- ウエハー検査
