NPS-X-28Cは、もともと高速・超精密なMRヘッドやディスクドライブのテスト用に開発されたものです。
小型でミリ秒単位の応答速度を持つため、高い信頼性とスループットが要求されるアプリケーションに最適です。 低移動質量と高剛性の組み合わせにより、極めて高い帯域幅を実現しています。
静電容量センサー設計により、サブナノメートルの変位測定と28 μmを超える範囲でのクローズドループフィードバックを提供します。フレクシャーガイドは、寄生運動を伴う高い純度の運動を実現します。Queensgateのデジタルクローズドループコントローラーと組み合わせることで、ミリ秒単位の応答時間と整定時間を実現することができます。
