NPS-Z-500B-UHVロングレンジ500μmステージ

NPS-Z-500B-UHVは、超高真空における80Kで100 μm以上のフルレンジを実現し、静電容量方式の位置決めセンサーによるクローズドループモードで動作するよう設計されています。高度なフレクシャー設計により、優れた分解能、再現性、剛性、安定性を備えた高直線性デバイスを実現しています。低い軸逸脱誤差と高い固有振動数が、この先進的な設計の性能をさらに高めています。