H116ステージ
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アルミプレート – H232（H116ステージ）
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ウエハーチャック – HWC30S（H116ステージ）
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ガラスプレート – H225（H116ステージ）
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スプリング式ウエハーチャック – H149N (200 mmノッチ付きウエハー)
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スプリング式ウエハーチャック – H149N（H116ステージ）
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回転式ウエハーチャック – HWC20S（H116ステージ）
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回転式ウエハーチャック – HWC20V（H116ステージ)
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