ナノポジショニングセンサー
NanoSensorは、静電容量マイクロメトリクスの原理を応用した高感度な非接触位置測定システムです。最大1.25 mmまでの範囲をピコメートル単位まで分解できます。2枚のセンサープレート（ターゲットとプローブ）が平行平板のコンデンサーを形成しています。
Queensgateでは、様々なスタイルのナノポジショニングセンサーを製造しています。
NXシリーズは金属製で、アルミニウムとスーパーインバーの2種類があります。お客様のご要望に応じて、別の素材もご用意できますので、ご相談ください。
センサーは、Queensgateの最新鋭のアナログシングルチャンネルコントローラーを使用して駆動することができます。
必要に応じて、カスタムマルチチャンネルシステムの製作や、センサーヘッドのカスタム設計も可能です。Queensgateは、ウエハーステッピングや国際宇宙ステーションなどの用途で、数多くのカスタムシステムを製造に成功してきました。お客様のご要望を是非お聞かせください。
Showing the single result
