ナノポジショニングセンサー – 究極の位置監視を実現するNanoSensor
NanoSensor®は、静電容量マイクロメトリクスの原理を応用した非接触位置測定システムです。2枚のセンサープレートが平行平板のコンデンサーを形成しています。
この2枚のプレートの間隔は、適切な電子コントローラーを用いて、7 pmより良好な値で、1.25 mmまでの範囲、10 kHzまでの周波数応答、最小0.02%の直線度で測定することができます。NanoSensorは非接触方式なので、ヒステリシスの心配がありません。測定点での電力消費はありません。
