NPS-XY-100は、静電容量式位置センサーを内蔵したピエゾスキャン式フレクシャーガイドステージで、サブナノメートルの分解能と再現性を実現しています。
フレクシャーガイド機構の有限要素解析により、100 μmの全領域で寄生角運動を25 μラジアン以下に抑えています。独自のアイソスタティックマウント方式により、マウントシステムからの応力を適切に緩和し、ステージの中心を座標の基準点として確立しています。
NPS-XY-100A 2軸100 µm x 100 µmステージ Super Invarは、スーパーインバー構造（CTE 0.3ppm K-1）を採用しており、ナノメートルスケールで非常に重要となる熱ドリフトを最小限に抑えています。3点キネマティックマウント付き。
NPS-XY-100D 2軸100 µm x 100 µmステージ Super Aluminumは、アルミニウム製です。XY-100シリーズの中で最高の分解能と高速なダイナミクスを持ち、最もコストパフォーマンスに優れたモデルです。4つのコーナーマウントが付属しており、簡単に取り付けることができます。
