WP120A 300 mm ウェーハ観察用 ピエゾZ軸ステージ

Datasheets

300mmウェーハ観察用に設計されたピエゾ駆動Z軸ステージです。耐荷重は最大で8kgと、重量のあるウェーハチャックにも対応できます。

製品に搭載されている静電容量センサーがナノレベルで移動量を検知し、専用デジタルコントローラにフィードバックを送ります。独自のアルゴリズムを備えたデジタルコントローラとのクローズドループによって、高精度な位置決めを行います。