NPS-X-15A/NPS-X-15Bは、MRヘッドやディスクドライブの高速・超精密検査用に設計されたロープロファイル高速15 μmステージです。
小型でミリ秒単位の応答速度を持つため、高い信頼性とスループットが要求されるアプリケーションに最適です。低移動質量と高剛性の組み合わせにより、極めて高い帯域幅を実現しています。コンパクトな内蔵式静電容量センサー設計により、サブナノメートルの変位測定と16 μmを超える範囲でのクローズドループフィードバックを提供します。フレクシャーガイドは、寄生運動を通常1 μラジアンにまで低減し、高い運動純度を実現します。Queensgateのデジタルクローズドループコントローラーとの組み合わせにより、NPS-X-15A（ステンレス鋼）/NPS-X-15B（アルミニウム）は、ミリ秒単位の応答時間と整定時間を実現します。
