Datasheets
NPS-XYZ-100D-20Hは、XY軸は100ミクロン、Z軸は20ミクロンの動作範囲を持つ3軸ピエゾステージです。
独自のフレクシャーガイドを持ち、XY100ミクロンの全動作範囲でピッチとヨーを25マイクロラジアン未満に抑えた正確な動作を持ちます。内蔵した静電容量センサーのフィードバックにより、サブナノの分解能を持ちます。筐体はアルミ製です。
QGNPC-D-6330 デジタルコントローラからの制御により、市場にあるピエゾ製品の中で最も正確かつ高い動的性能を発揮します。
