ナノポジショニングチップチルトステージNPS-TG-7Aは、光学検査、イメージングシステム、レーザーポインティングデバイスなど、ミラーの高速・超高精度位置決めを必要とするアプリケーション向けに開発されたステージです。ステージのチップチルトプラットフォームに適切なミラーを固定し、7ミリラジアンを超える移動範囲とサブマイクロラジアンの分解能を提供します。
NPS-TG-7Aは、高速アプリケーションのための高帯域幅で動作するように設計されています。インバー36製で、熱膨張率が低いため、ほとんどの光学部品にマッチし、熱歪みを最小限に抑え、熱による位置ずれを最小限に抑えることができます。標準システムでは±3.5 mradの移動範囲を提供しますが、ご要望に応じてより短い範囲のオプションも提供します。
