クイーンズゲイト ナノポジショニング | Prior Scientific https://priorjp.co.jp/product-category/nanopositioning Leaders in Microscope Automation & Optical Instrumentation Thu, 28 Nov 2024 00:39:35 +0000 en-US hourly 1 https://wordpress.org/?v=6.9.3 https://priorjp.co.jp/wp-content/uploads/2022/08/cropped-Prior_512x512_P-32x32.jpg クイーンズゲイト ナノポジショニング | Prior Scientific https://priorjp.co.jp/product-category/nanopositioning 32 32 ピエゾZステージ NanoScan SP400/SP800 https://priorjp.co.jp/product/nanoscan-sp400-sp800 Fri, 09 Dec 2022 11:15:31 +0000 https://priorjp.co.jp/?post_type=product&p=15058 NanoScan SP シリーズは、長動作範囲と高速駆動を併せ持つ、顕微鏡用ピエゾ Z ステージです。これまでにない高精度と高速駆動・収束時間により、高速での Z スタック画像取得をすることが可能です。SP シリーズは、プライアーの ProScanXY ステージに限らず、その他の顕微鏡用ステージに取り付けることができます。 サンプルホルダーは、ウェルプレート用、ディッシュ用、スライド用をご用意しています。形状としては、高 NA の対物レンズやその照明配置のため、高さを抑え広い開口部を確保しました。

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]]> NanoScan SP シリーズは、長動作範囲と高速駆動を併せ持つ、顕微鏡用ピエゾ Z ステージです。これまでにない高精度と高速駆動・収束時間により、高速での Z スタック画像取得をすることが可能です。SP シリーズは、プライアーの ProScanXY ステージに限らず、その他の顕微鏡用ステージに取り付けることができます。

サンプルホルダーは、ウェルプレート用、ディッシュ用、スライド用をご用意しています。形状としては、高 NA の対物レンズやその照明配置のため、高さを抑え広い開口部を確保しました。

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]]> ウェーハ観察用 ピエゾZ軸ステージ https://priorjp.co.jp/product/wpz-120a Fri, 09 Dec 2022 10:28:42 +0000 https://priorjp.co.jp/?post_type=product&p=15046 WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステー ジです。300㎜ウェーハ観察を想定し、耐荷重は8㎏、重量のあるウェーハチャックをのせるこ ともできます。 性能面では、クイーンズゲイトコントローラの緻密な制御アルゴリズムと静電容量センサー搭 載から、ナノレベルの誤差を検知・コントローラーにフィードバック、超高精度を実現します。 独自のフレクシャーガイド機構により、120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安 定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。

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]]> WP-Z-120Aは、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステー ジです。300㎜ウェーハ観察を想定し、耐荷重は8㎏、重量のあるウェーハチャックをのせるこ ともできます。

性能面では、クイーンズゲイトコントローラの緻密な制御アルゴリズムと静電容量センサー搭 載から、ナノレベルの誤差を検知・コントローラーにフィードバック、超高精度を実現します。 独自のフレクシャーガイド機構により、120ミクロンの動作範囲全体に渡って、スムーズで安 定した動作と超高速での駆動・収束を両立します。

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]]> ピエゾZステージ NanoScan SP400 https://priorjp.co.jp/product/nanopositioning-piezo-sample-scanner Thu, 01 Oct 2020 16:00:45 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=13330 Delivering the best positioning performance and fastest recovery between Z stacks, the NanoScan-SP range of Piezo driven stages are compatible with the Prior motorized stage as well as many common microscopes when using appropriate adapter plates. The super-slim 13.7 mm height is a feature of the 400 μm and 600 μm closed-loop versions, providing better access for illumination of the sample area. Accessory insert plates are available for a wide variety of samples, including well plates, microtitre plates, slides, and Petri dishes.

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]]> 最高の位置決め性能とZスタック間の高速復帰を実現するNanoScan-SPシリーズのピエゾ駆動ステージは、適切なアダプタープレートを使用することでプライアーの電動ステージや多くの一般的な顕微鏡と互換性があります。400 μmクローズドループバージョンの特徴は高さ13.7 mmと超薄型で、サンプルエリアの照明のためのアクセスがより良くなっていることです。アクセサリーのインサートプレートは、ウェルプレート、マイクロタイタープレート、スライド、ペトリ皿など、さまざまなサンプルに対応しています。

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]]> NanoScan SP400/SP600 ナノポジショニングピエゾサンプルスキャナー https://priorjp.co.jp/product/nanoscan-sp400-nanopositioning-piezo-sample-scanner Thu, 20 Feb 2020 20:06:21 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=12695 Delivering the best positioning performance and fastest recovery between Z stacks, the NanoScan-SP range of Piezo driven stages are compatible with the Prior motorized stage as well as many common microscopes when using appropriate adapter plates. The super slim 13.7mm height is a feature of the 400um and 600um closed loop versions, providing better access for illumination of the sample area. Accessory insert plates are available for a wide variety of samples, including well plates, microtitre plates, slides and petri dishes.

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]]> 最高の位置決め性能とZスタック間の高速復帰を実現するNanoScan-SPシリーズのピエゾ駆動ステージは、適切なアダプタープレートを使用することでプライアーの電動ステージや多くの一般的な顕微鏡と互換性があります。400 μmおよび600 μmクローズドループバージョンの特徴は高さ13.7mmと超薄型で、サンプルエリアの照明のためのアクセスがより良くなっていることです。アクセサリーのインサートプレートは、ウェルプレート、マイクロタイタープレート、スライド、ペトリ皿など、さまざまなサンプルに対応しています。

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]]> 対物ピエゾ NanoScan OP400 https://priorjp.co.jp/product/nanoscanop400 Wed, 30 Jan 2019 17:15:38 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=11378 ナノスキャンOP400 ナノポジショニングピエゾ対物レンズスキャナーは、あらゆる対物レンズポジショナの中で最速のステップおよび整定時間を提供します。また、静電容量式フィードバックセンサーを搭載し、市場トップレベルの位置決め精度と分解能を実現しています。ほとんどの顕微鏡と対物レンズに対応し、対物レンズのサイズ、重さ、性能のニーズに応じて最適な設定を行うことができます。ユーザーはアプリケーションに応じて最適な設定を選択するだけです。

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]]> ナノスキャンOP400 ナノポジショニングピエゾ対物レンズスキャナーは、あらゆる対物レンズポジショナの中で最速のステップおよび整定時間を提供します。また、静電容量式フィードバックセンサーを搭載し、市場トップレベルの位置決め精度と分解能を実現しています。ほとんどの顕微鏡と対物レンズに対応し、対物レンズのサイズ、重さ、性能のニーズに応じて最適な設定を行うことができます。ユーザーはアプリケーションに応じて最適な設定を選択するだけです。

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]]> NPS2100-20/NPS2101コントローラー https://priorjp.co.jp/product/nps2100-controller Thu, 17 Jan 2019 18:48:41 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=11284 The NPS2101 and the NPS2100-20 are NanoSensor, high voltage amplifier and control electronics combined as a single channel standalone module, powered by an external ±15V, 130V and -30V DC supplies. Designed to provide closed loop position control of Y mirror steering mechanisms, which incorporate Queensgate piezo actuators (MTP-15N) and sensors (NXB-3-Al). The control electronics allows the user to optimize closed loop response giving significant improvements in stability and linearity compared to open-loop operation. The NPS-2100-20 incorporates a -20V input. The NPS-2101 has positive and negative voltages inputs but has its Nanosensor screen driver disabled.

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]]> NPS2101およびNPS2100-20は、NanoSensor、高電圧アンプ、制御電子回路を1チャンネルにまとめたスタンドアローンモジュールで、±15V、130V、-30Vの外部DC電源で駆動されます。これはQueensgateのピエゾアクチュエーター（MTP-15N）およびセンサー（NXB-3-Al）を搭載したYミラーステアリング機構のクローズドループ位置制御を行うように設計されています。制御電子回路により、クローズドループ応答を最適化することができ、オープンループ動作と比較して安定性と直線性が大幅に改善されます。NPS-2100-20は、-20V入力を内蔵しています。NPS-2101は正負の電圧入力がありますが、NanoSensorスクリーンドライバは無効になります。

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]]> NS-2000 センサーコントローラー https://priorjp.co.jp/product/ns-2000-sensor-controller Thu, 17 Jan 2019 13:43:17 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=11279 The NS2000 is a single channel stand-alone electronic module for driving the NX and NC NanoSensor series. It operates by measuring the change in capacitance of a parallel plate capacitor and outputs an analogue voltage proportional to the NanoSensor gap. The voltage output varies linearly between -5V and +5V as the sensor gap changes from 50% to 150% of the nominal NanoSensor gap, this scaling is user settable. Its compact size, stand alone operation and high resolution makes this ideal for upgrading existing systems where Nanopositioning is required.

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]]> NS2000は、NXおよびNCNanoSensorシリーズを駆動するための1チャンネルのスタンドアローン電子モジュールです。平行平板コンデンサーの容量変化を測定することで動作し、NanoSensorのギャップに比例したアナログ電圧を出力します。センサーのギャップが公称NanoSensorギャップの50%から150%に変化すると、電圧出力は-5Vから+5Vの間で直線的に変化します。このスケーリングはユーザーが設定可能です。コンパクトなサイズ、スタンドアロン動作、高分解能により、ナノポジショニングシステムを必要とする既存システムのアップグレードに最適です。

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]]> NanoScan NPC-D-6000シリーズマルチチャンネルクローズドループコントローラー https://priorjp.co.jp/product/pc-d-6000-multi-channel-closed-loop-controller Thu, 24 May 2018 11:45:55 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=9418 NanoScan NPC-D-6000シリーズは、Queensgateのステージ機構やアクチュエーターをピコメートルの位置決め分解能で制御するために特別に設計されたマルチチャンネルナノポジショニングコントローラーです。 NPC-D-6000シリーズは、最新のデジタル信号処理技術により、ピエゾドライブアンプ、静電容量式位置検出回路、サーボ制御機能を組み合わせています。 コントローラーは以下の特徴を備えています。 低ノイズ 低ドリフト 高出力 高分解能 高速な位置更新レートは、ステージの高速移動が必要なダイナミックアプリケーションでの高速位置決め精度に貢献します。 コントローラーは、プラグアンドプレイのナノメカニズムに対応しており、電子部品を交換しても性能はほとんど変わりません。

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]]> NanoScan NPC-D-6000シリーズは、Queensgateのステージ機構やアクチュエーターをピコメートルの位置決め分解能で制御するために特別に設計されたマルチチャンネルナノポジショニングコントローラーです。

NPC-D-6000シリーズは、最新のデジタル信号処理技術により、ピエゾドライブアンプ、静電容量式位置検出回路、サーボ制御機能を組み合わせています。

コントローラーは以下の特徴を備えています。

  • 低ノイズ
  • 低ドリフト
  • 高出力
  • 高分解能

高速な位置更新レートは、ステージの高速移動が必要なダイナミックアプリケーションでの高速位置決め精度に貢献します。

コントローラーは、プラグアンドプレイのナノメカニズムに対応しており、電子部品を交換しても性能はほとんど変わりません。

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]]> NPC-D-5200デジタルコントローラー https://priorjp.co.jp/product/npc-d-5200-digital-controller Thu, 24 May 2018 11:44:34 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=9414 精密さ、正確さ、スピードで、最高のナノポジショニングを実現します。 最高のダイナミック性能を必要とする難しいアプリケーションを幅広くカバーするために設計された、スタンドアロン1軸クローズドループピエゾアクチュエーターコントローラーです。NPC-D-5200は、妥協することなく、精度、正確さ、スピードを実現しています。

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]]> 精密さ、正確さ、スピードで、最高のナノポジショニングを実現します。

最高のダイナミック性能を必要とする難しいアプリケーションを幅広くカバーするために設計された、スタンドアロン1軸クローズドループピエゾアクチュエーターコントローラーです。NPC-D-5200は、妥協することなく、精度、正確さ、スピードを実現しています。

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]]> NanoSensor – NXシリーズ https://priorjp.co.jp/product/nanosensors-nx-series Thu, 24 May 2018 11:34:40 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=9397 ナノポジショニングセンサー – 究極の位置監視を実現するNanoSensor NanoSensor®は、静電容量マイクロメトリクスの原理を応用した非接触位置測定システムです。2枚のセンサープレートが平行平板のコンデンサーを形成しています。 この2枚のプレートの間隔は、適切な電子コントローラーを用いて、7 pmより良好な値で、1.25 mmまでの範囲、10 kHzまでの周波数応答、最小0.02%の直線度で測定することができます。NanoSensorは非接触方式なので、ヒステリシスの心配がありません。測定点での電力消費はありません。

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]]> ナノポジショニングセンサー – 究極の位置監視を実現するNanoSensor

NanoSensor®は、静電容量マイクロメトリクスの原理を応用した非接触位置測定システムです。2枚のセンサープレートが平行平板のコンデンサーを形成しています。

この2枚のプレートの間隔は、適切な電子コントローラーを用いて、7 pmより良好な値で、1.25 mmまでの範囲、10 kHzまでの周波数応答、最小0.02%の直線度で測定することができます。NanoSensorは非接触方式なので、ヒステリシスの心配がありません。測定点での電力消費はありません。

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]]> MTPオープンループアクチュエーター https://priorjp.co.jp/product/mtp-open-loop-actuator Thu, 24 May 2018 10:58:21 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=9382 MTPは内部でプリロードされたピエゾ式オープンループ移動装置で、非常に高い分解能で105 μmまでの移動量を持たせることが可能です。 このアクチュエーターは、1000 N（MTP-15）のブロッキング力を発生させることができる非常に剛性の高い設計になっています。この特性により、Z軸方向に最大10 kg（MTP-15）までの過酷な荷重を駆動することが可能です。MTPアクチュエーターを公称値以上の範囲で駆動するには、単に0 V～120 V の HVアンプが必要なだけです。ただし、必要に応じて、-30V～150VDC対応のHVアンプを使用することで、さらに範囲を広げることが可能です。 小型でクローズドループの性能が必要な場合、MTPはQueensgateの位置測定システムと組み合わせて使用することができます。これにより、サブナノメートルの精度で静電容量方式の位置検出が可能となり、アクチュエーターから独立したセンサー配置のメリットも得られます。これにより、センサープレートをホストフィクスチャーの都合の良い場所に自由に取り付けることができるようになりました。

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]]> MTPは内部でプリロードされたピエゾ式オープンループ移動装置で、非常に高い分解能で105 μmまでの移動量を持たせることが可能です。

このアクチュエーターは、1000 N（MTP-15）のブロッキング力を発生させることができる非常に剛性の高い設計になっています。この特性により、Z軸方向に最大10 kg（MTP-15）までの過酷な荷重を駆動することが可能です。MTPアクチュエーターを公称値以上の範囲で駆動するには、単に0 V～120 V の HVアンプが必要なだけです。ただし、必要に応じて、-30V～150VDC対応のHVアンプを使用することで、さらに範囲を広げることが可能です。

小型でクローズドループの性能が必要な場合、MTPはQueensgateの位置測定システムと組み合わせて使用することができます。これにより、サブナノメートルの精度で静電容量方式の位置検出が可能となり、アクチュエーターから独立したセンサー配置のメリットも得られます。これにより、センサープレートをホストフィクスチャーの都合の良い場所に自由に取り付けることができるようになりました。

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]]> DPT-Eシリーズクローズドループアクチュエーターシステム https://priorjp.co.jp/product/dpt-e-digital-piezo-translators Thu, 24 May 2018 10:55:41 +0000 https://www.prior.com/?post_type=product&p=9378 精密さ、正確さ、スピードで、最高のナノポジショニングを実現します。 DPT-Eシリーズのアクチュエーターは、容量性フィードバック制御により、正確な位置決めができるように設計されています。 DPT-Eアクチュエーターと完全にプログラム可能なナノスキャンNPC-D-6000シリーズまたはNPC-D-5200デジタルクローズドループコントローラーを組み合わせたシステムは、最も要求の厳しいアプリケーションに理想的なシステムです。低電子ノイズ、高リニアリティで、全移動範囲において60 kgまでの負荷を動かすことができ、アクチュエーターの位置決めを精度、速度、正確さで行うことができるという安心感があります。熱安定性の高いスーパーインバー構造により、優れた位置安定性を実現します。DPT-Eは、高電圧用DPT-Cと直接交換できるように設計されています。DPT-C相当機種から25％以上移動範囲を拡大し、その他の機能強化も行っています。 校正機能内蔵 高負荷、高速ステップ整定時間 移動距離の拡大

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]]> 精密さ、正確さ、スピードで、最高のナノポジショニングを実現します。

DPT-Eシリーズのアクチュエーターは、容量性フィードバック制御により、正確な位置決めができるように設計されています。

DPT-Eアクチュエーターと完全にプログラム可能なナノスキャンNPC-D-6000シリーズまたはNPC-D-5200デジタルクローズドループコントローラーを組み合わせたシステムは、最も要求の厳しいアプリケーションに理想的なシステムです。低電子ノイズ、高リニアリティで、全移動範囲において60 kgまでの負荷を動かすことができ、アクチュエーターの位置決めを精度、速度、正確さで行うことができるという安心感があります。熱安定性の高いスーパーインバー構造により、優れた位置安定性を実現します。DPT-Eは、高電圧用DPT-Cと直接交換できるように設計されています。DPT-C相当機種から25％以上移動範囲を拡大し、その他の機能強化も行っています。

  • 校正機能内蔵
  • 高負荷、高速ステップ整定時間
  • 移動距離の拡大

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